一、半导体行业废气治理简介：

 

　　半导体芯片做为高新科技产业链通常被别人误会为“清理”产业链，但实际上，半导体材料加工过程中应用了很多有机化学和无机化合物，包含很多有害有害物，对污染环境比较比较严重，如不加以控制，可能造成很大的空气污染。一些半导体产业比较发达的和地区，如英国、法国和中国台湾等都对于半导体芯片制定了相对的环保标准。

 

 

　　二、半导体行业废气治理方式及其比照：

 

　　现阶段，半导体材料厂有机废气处理方式一般选用吸咐法、焚烧处理或二者融合的方式。吸咐是运用多孔结构固态吸收剂对混合气开展解决，使在其中的一种或多种多样成分可以吸咐在固态表层，做到分离出来的目地。

 

　　该吸收剂可选择性高，能分离出来其他加工工艺无法分离出来的化合物，能合理除去（或收购）较低浓度的有害物，清洁高效率，机器设备简易，实际操作便捷，可完成自动控制系统。

 

　　但固态吸收剂吸咐容积小，必须很多吸收剂，机器设备巨大，吸咐后必须再造解决，它是吸咐解决的关键缺陷。

 

 

　　从半导体材料生产制造当场挥传出的工业废气经就地万向抽气罩搜集后，经济管理道送至吸咐净化设备。一般用活性碳作吸收剂。因为活性碳是一种非极性吸收剂，其对有机废气中水蒸气的敏感度不高，质优价廉。焚烧处理也广泛运用于半导体材料工业生产的各种各样工业废气解决，有机化合物根据苛化转换为二氧化碳和水。

 

　　另外，焚烧处理也是解决总流量和浓度值平稳的有机废气的好方法。在苛化全过程中，工业废气被加温，液相有机化合物被氧化。为了更好地节约然料，一般选用热交换器收购焚烧处理造成的发热量，对進口天然气开展加热。这类方式一般用以解决大流量、较低浓度的的汽体。

 

 

　　因为半导体材料工业生产中的有机废气焚烧处理造成二氧化硅，二氧化硅钝化处理金属催化剂，触碰空气氧化在半导体材料工业生产中运用较少。

 

　　一些半导体材料加工厂也应用转动萃取系统软件来搜集工业废气，如沸石萃取轮。因为半导体材料加工工艺中工业废气消耗量大（一般超过11038m3h），浓度值低（一般低于25ppmv），选用其他解决技术性难以实现令人满意的解决实际效果。沸石萃取轮选用内有吸咐原材料的转动轮，吸咐原材料一部分曝露在废气旋中。

 

　　转筒消化吸收有机废气中的挥发物空气污染物，并且用蒸气或热将其分析

 

　　解析气旋中搜集了浓度较高的的挥发性有机物，较低浓度的和浓度较高的的气旋能够非常好地空气氧化。转动萃取系统软件在半导体材料工业生产中的一个缺陷是对乙醇的亲和性差，污泥负荷仅有40-60%。